Vorlesungen und Übungen. Kursmaterial: Kursnotizen.
Dies ist ein 3-tägiger Einführungskurs über mikroelektromechanische Systeme (MEMS): die grundlegende Theorie und wie MEMS entworfen und hergestellt werden, verschiedene Anwendungen von MEMS in Sensoren und Aktuatoren und Fragen der Nutzung von MEMS.
Dieses Training zeichnet sich aus durch:
- seine professionelle Ausrichtung und sein branchenverbundenes Programm;
- seinen umfassenden, vollständiger Lernpfad;
- Prof. Michael Kraft, der über 20 Jahre internationale Erfahrung in der MEMS Spitzenforschung und Reinraumtechnologien mit einem tiefen interdisziplinären Verständnis und einer Leidenschaft für die Anwendung von Mikro- und Nanosystemen auf reale Herausforderungen verbindet.
Objektiv
Nach dem Besuch des Kurses weiß der Teilnehmer:
- die grundlegende Theorie der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS),
- wie MEMS entworfen und hergestellt werden,
- verschiedene Anwendungen von MEMS in Sensoren und Aktuatoren,
- wie MEMS verwendet werden können.
Zielgruppe
Dieser Kurs richtet sich an Entwicklungsingenieure aus den Bereichen Elektronik sowie Maschinenbau und Mechatronik (mit Fachhochschul- oder Hochschulabschluss), die in der Forschung und Produktentwicklung tätig sind.
Vorausgesetzte Vorkenntnisse: Grundlegende Kenntnisse über IC-Technologie/Verarbeitung.
Für Teilnehmergruppen, die ihr Wissen über die MEMS-Grundlagen hinaus vertiefen und sich auf bestimmte Sensorbereiche konzentrieren möchten, ist ein Fortgeschrittene MEMS-Schulung nur für firmeninterne Sitzungen verfügbar.
Programm
Einführung in mikroelektromechanische Systeme
- MST - MEMS - Mikromaschinen
- MEMS, allgemeine Aspekte und Motivation: Miniaturisierung, Tragbarkeit, Märkte
Mikromechanische Verarbeitungstechniken
- Bulk-Mikrobearbeitung
- Oberflächenmikrobearbeitung
- Trockenes Ätzen
- Tiefes reaktives Ionenätzen
- Wafer-Bonding-Techniken, Silizium auf Isolator
- Bondung
Sensoren und Aktuatoren
- Transduktionsmethoden (kapazitiv, piezoresistiv, piezoelektrisch)
- Drucksensoren
- Beschleunigungsmesser, Gyroskope
- Aktuatoren
- Akustische MEMS
- Sensoren auf Resonanzbasis
- Optische MEMS und Anwendungen
- Gassensoren, chemische und Biosensoren
Methoden
Zertifizierung
Die Teilnehmer erhalten ein Kurszertifikat des High Tech Institute für die Teilnahme an dieser Schulung.
Mehr Informationen
Kurs-Bewertungen
'Es war eine ausgezeichnete Schulung, sowohl was den Inhalt als auch die Präsentation betrifft. Der Trainer hat die Fragen der Teilnehmer hervorragend beantwortet.'
Anonym (Peking)'Es war hervorragend für Anfänger, die die Technologie von Grund auf lernen wollen. Ich habe verschiedene Techniken für die MEMS-Fertigung erlernt, die sehr hilfreich sind.'
Anonym (Peking)Der Kurs war nützlich für das allgemeine Verständnis des Hardware-Designs von MEMS und der Herstellungstechniken von MEMS.'
Anonym (Peking)Die Schulung ist sehr gut, sogar ausgezeichnet. Sehr informativ mit viel Wissen über den Titel der Schulung (MEMS). Alles an der Schulung, einschließlich der Inhalte, des Materials und des Dozenten, ist ausgezeichnet.'
Anonym (Peking)
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