Hoorcolleges en oefeningen. Cursusmateriaal: notities.
Dit is een inleidende training van drie dagen over micro-elektromechanische systemen (MEMS): theorie in de basis en hoe MEMS worden ontworpen en gefabriceerd, verschillende toepassingen van MEMS in sensoren en actuatoren, en gebruikskwesties van MEMS.
Deze training onderscheidt zich door:
- De professionele oriëntatie en een programma verbonden met de industrie;
- Zijn uitgebreide end-to-end leertraject;
- Prof. Michael Kraft die al meer dan 20 jaar internationale ervaring in geavanceerd MEMS-onderzoek en cleanroomtechnologieën combineert met een diepgaand interdisciplinair begrip en een passie voor het toepassen van micro- en nanosystemen op echte uitdagingen.
Deze training voor open inschrijvingen biedt een solide basis in MEMS-technologie. Voor ervaren engineers die dieper willen ingaan op traagheidssensoren, piëzo-elektrische en resonantieapparaten bieden we een aanpasbare MEMS-training voor gevorderden.
Doelstelling
Na het volgen van de training weet de deelnemer het volgende:
- De basistheorie van micro-elektromechanische systemen (MEMS),
- Hoe MEMS worden ontworpen en gefabriceerd,
- Verschillende toepassingen van MEMS in sensoren en actuatoren,
- Hoe MEMS kunnen worden gebruikt.
Doelgroep
Deze cursus is bedoeld voor ontwerpingenieurs op het gebied van elektronica en werktuigbouwkunde/mechatronica (op het niveau van het technisch onderwijs of de universiteit) die werkzaam zijn in onderzoek en productontwikkeling.
Veronderstelde voorkennis: elementaire kennis van IC-technologie/processing.
Voor groepen deelnemers die hun kennis verder willen verdiepen dan MEMS-fundamentals en zich willen richten op specifieke sensordomeinen, is er een Advanced MEMS-training alleen beschikbaar voor in-company sessies.
Programma
Inleiding tot micro-elektromechanische systemen
- MST - MEMS - micromachines
- MEMS, algemene aspecten en motivatie: miniaturisatie, draagbaarheid, markten
Micromechanische verwerkingstechnieken
- Microtechnologie in bulk
- Oppervlakte micromachining
- Droog etsen
- Diep reactief ionetsen
- Waferverbindingstechnieken, Silicium op Isolator
- Verbinding
Sensoren en actuatoren
- Transductiemethoden (capacitief, piëzoresisterend, piëzo-elektrisch)
- Druksensoren
- Versnellingsmeters, gyroscopen
- Actuators
- Akoestische MEMS
- Op resonantie gebaseerde sensoren
- Optische MEMS en toepassingen
- Gas sensoren, chemische en bio sensoren
Methoden
Certificering
Deelnemers ontvangen een cursuscertificaat van High Tech Institute voor het volgen van deze training.
Meer informatie
Cursusbeoordelingen
Het was een uitstekende training, zowel qua inhoud als presentatie. De trainer was uitzonderlijk in het beantwoorden van de vragen van de cursisten.
Anoniem (Beijing)Het was uitstekend voor beginners die de technologie vanaf nul willen bestuderen. Ik heb verschillende technieken voor MEMS-productie geleerd die erg nuttig zijn.
Anoniem (Beijing)De cursus was nuttig voor het algemene begrip van hardwareontwerp van MEMS en de fabricagetechnieken van MEMS.'
Anoniem (Beijing)De training is erg leuk, eigenlijk uitstekend. Zeer informatief met veel kennis over de titel van de training (MEMS). Alles in de training inclusief inhoud, materiaal en docent is uitstekend.'
Anoniem (Beijing)
Blijf op de hoogte
Ontvang onze maandelijkse updates
