Zusammen mit Erik Manders ist Marc Vermeulen (1970) das neue Gesicht der Ausbildung „Design Principles for Precision Engineering“. Für seine Diplomarbeit bei Nick Rosielle an der TU Eindhoven entwarf er eine 3D-Koordinatenmessmaschine (3D CMM). Diesen Entwurf setzte er dann während seiner Promotion in Zusammenarbeit mit dem niederländischen Metrologieinstitut (NMi) in Delft und dem deutschen KMG-Hersteller Carl Zeiss in einen Prototyp eines 3D-KMGs um. Das Konzept wurde anschließend von Zeiss in die Serienproduktion übernommen und 2004 als KMG F25 auf den Markt gebracht.

Nach seinem Studium empfand Vermeulen den Wechsel zu Philips CFT, das damals als „Mekka der Mechatronik“ galt, als den logischsten Schritt. Dort stieß er schnell auf die Design Principles-Schulung, die von Piet van Rens geleitet wurde, und beschloss, selbst Co-Trainer zu werden.

Im Jahr 2007 wechselte Vermeulen zu ASML, wo er in den folgenden Jahren als Systemarchitekt an Immersionssystemen, Waferbühnen und Wafertischen arbeitete. Derzeit ist er als leitender Systemarchitekt an verschiedenen Entwicklungen in den Geschäftsbereichen DUV, EUV und Anwendungen beteiligt.

 

Bearings contribute to accuracy and system behavior

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