Dieser Kurs ist von der European Society for Precision Engineering & Nanotechnology (euspen) und der Dutch Society for Precision Engineering (DSPE) zertifiziert und führt zum ECP2-Zertifikat.
Die Anwendung passiver Dämpfung wird immer mehr zu einem entscheidenden Faktor bei modernen Präzisionsanwendungen. Sie hilft, immer strengere Vorgaben zu erfüllen. Bei High-Tech-Positionierungssystemen wird die hochbandbreitige Regelung aufgrund der internen Dynamik (Masse-Feder-Verhalten) zunehmend schwieriger. Passive Dämpfung vereinfacht das Reglerdesign und das Erzielen einer hohen Regelungsbandbreite erheblich. Durch die passive Dämpfung verbessert sich die Positioniergenauigkeit trotz potenzieller Hysterese-Risiken.
Dieser Kurs behandelt den Entwurf, die Modellierung und die Implementierung von passiver Dämpfung in High-Tech-Systemen. Wir besprechen die Abwägung zwischen Dämpfung, Steifigkeit und Positionsunsicherheit.
Verschiedene Prinzipien werden thematisiert: Materialdämpfung (viskose, lineare viskoelastische und Kompositdämpfung), Tilger (Tuned Mass Damper / Robust Mass Damper) sowie Schichtdämpfung (Constrained Layer Damping / Free Layer Damping). Praxisbeispiele und Studien aus dem Medizinbereich, Werkzeugmaschinenbau und Halbleiterproduktion werden behandelt.
Diese Schulung ist sowohl für offene Anmeldungen als auch für firmeninterne Sitzungen verfügbar.
Objektiv
Teilnehmer erhalten theoretisches Wissen, Praxis-Einblicke sowie Do's und Don'ts. Nach der Schulung verstehen sie die Potenziale der verschiedenen Ansätze und können Entwicklungen initiieren, spezifizieren, begleiten oder die richtige Standardlösung auswählen.
Zielgruppe
Dieser Kurs richtet sich an Entwickler, Konstrukteure, Dynamikspezialisten sowie Projekt- und Gruppenleiter, die sich mit hochpräzisen Bewegungssystemen befassen und mehr Einblick in die Möglichkeiten und Grenzen der Anwendung von passiver Dämpfung erhalten möchten.
Es wird empfohlen, dass die Teilnehmer einen Bachelor- oder Masterabschluss in Maschinenbau, Elektrotechnik, Mechatronik, Physik oder gleichwertige praktische Erfahrung besitzen und über ein gewisses Grundverständnis der Feinwerktechnik verfügen. Dieser Kurs ist besonders für Ingenieure geeignet, die den Kurs 'Konstruktionsprinzipien der Feinwerktechnik' und/oder 'Dynamik und Modellierung' besucht haben.
Der englischsprachige Kurs zieht Teilnehmer aus den Niederlanden und aus dem Ausland an, wodurch eine internationale Atmosphäre entsteht, die einen wertvollen Wissensaustausch fördert. Wenn Sie von außerhalb des Landes anreisen, finden Sie hier nützliche Reiseinformationen.
Programm
Tag 1
- Einführung passive Dämpfung
· Rekapitulation Konstruktionsprinzipien
· Dynamische Modellierung
· Bewegungsregelung und -steuerung
· Definition der verschiedenen Parameter
· Abwägung Dämpfung vs. Steifigkeit und Dämpfung vs. virtuelles Spiel - Beispiele in anderen Anwendungsbereichen
· Luftfahrt
· Hochbau
· Werkzeugmaschinen - Diskussion der Dämpfungsprinzipien
· Materialdämpfung
· Tuned Mass Damping (TMD), Robust Mass Damping (RMD)
· Constrained Layer Damping (CLD), Free Layer Damping (FLD)
· Wirbelstromdämpfung
· Reibungsdämpfung
Tag 2
- Materialdämpfung
· Dämpfung von verschiedenen Konstruktionsmaterialien
· Dämpfung von viskosen Flüssigkeiten
· Dämpfung von LVE-Materialien - · Demo/Übung
- Tuned Mass Damper (TMD)
· TMD-Abstimmung
· Praxisbeispiel: MRT-Scanner - Constrained Layer Damping (CLD)
· RKU-Modellierungsansatz
· Praxisbeispiel: Biegungen und Maschinenrahmen - · Übung
Tag 3
- CLD für diskontinuierliche Oberflächen
· Hybrider Ansatz - Robust Mass Damping (RMD)
· Entwurf und Verifikation
· Praxisbeispiel: Waferbühne einer EUV-Lithografiemaschine. - Integrale Modellierung und Optimierung
· Modellierungsansatz
· Optimierungsalgorithmus
· Praxisbeispiel: Überaktuierte Waferbühne - Integrierte viskoelastische Dämpfung in einem Aktuatormodul
· Modellierungsansatz
Praxisbeispiel: Waferbühne einer EUV-Lithografiemaschine - Wrap-up
Zertifizierung
Mehr Informationen
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Kurs-Bewertungen
"Die wichtigsten Dinge, die ich gelernt habe: Design -> zuerst die Steifigkeit die Dämpfung wie man einen Dämpfer aus Gummi entwirft. Einige Detailaspekte in den verschiedenen Designschritten."
Aart - Jan van der Voort"Sehr inspirierend; ich habe bereits mehrere Ideen, wie ich die passive Dämpfung in konkreten Systemen einsetzen kann."
Gert van Ooik - Sioux CCM"Die Schulung hat mir auf gute Art und Weise das beigebracht, was ich erwartet habe."
Lucas Monteiro Volpe - Brazilian Synchrotron Light Laboratory"Die Theorie, die aus verschiedenen Blickwinkeln betrachtet wird, hilft dabei, die komplexe Realität zu verstehen."
André Jeunink - ASML
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