Klassikaal onderwijs en huiswerk. Cursusmateriaal: boeken en een cursusmap worden verstrekt.
Een basiskennis van halfgeleiderfysica en -apparaten en van IC-verwerking is nodig voor heel wat functies: van IC-technologie-ingenieurs tot test- en productingenieurs en IC-ontwerpers.
Deze cursus is een introductiecursus en legt de basis en focust op de relatie tussen de halfgeleidertechnologie en het gedrag van de devices.
Deze training is zowel beschikbaar voor open inschrijving als voor in-company sessies. Voor in-company sessies kan de training worden aangepast aan uw situatie en speciale behoeften.
Doelstelling
Na de cursus heeft de deelnemer het volgende geleerd:
- Basiskennis van halfgeleiderfysica en -apparaten;
- Basiskennis van processtappen in IC-technologie;
- Basiskennis van MOS IC-verwerking;
- Enige kennis van bipolaire IC-verwerking;
- Basiskennis van elektrische proceskarakterisering en -bewaking;
- Een basisinzicht in de relatie tussen de halfgeleidertechnologie en het gedrag van de apparaten.
Doelgroep
Deze cursus is bedoeld voor beginnende IC-ontwerpers, test- en productingenieurs, IC-technologen, werknemers die basiskennis van IC-technieken nodig hebben. Ook voor ervaren engineers die hun kennis willen uitbreiden. Vereist opleidingsniveau: BSc / MSc in Elektronica, Natuurkunde of Scheikunde. Ervaring en/of aanvullende kennis is niet vereist, maar elementaire kennis van halfgeleiderfysica en -apparaten is zeer nuttig.
Programma
Inleiding tot en geschiedenis van IC-technologie, eenvoudige processtroom (1 x 3 u)
Halfgeleiderelementen en fysica van elementen (5 x 3 u)
- Verdeling en transport van ladingsdragers in halfgeleiders;
- Fundamentals van halfgeleiders;
- PN-verbindingsdiode;
- MOSFET-transistors;
- Bipolaire transistors;
- Gedrag bij kleine en grote signalen, eerste- en tweedeorde-effecten;
- Relatie tussen de halfgeleidertechnologie en het gedrag van de apparaten.
MOS en bipolaire IC-verwerking (5 x 3 uur)
- Oxidatie;
- Verspreiding;
- Ionenimplantatie;
- Chemische afzetting uit de dampfase (CVD);
- Fysieke dampdepositie (PVD);
- Natte verwerking;
- Plasma-etsen;
- Fotolithografie.
Verschillende geavanceerde onderwerpen (zoals high-K, SOI, FinFET) komen kort aan bod in het onderdeel device physics / technology: Wat zijn de hoofdzaken, de (on)voordelen en gevolgen.
V&A, afgewerkt huiswerk, oefeningen (1 x 3 uur)
Karakterisering en bewaking van elektrische processen (2 x 3 uur):
- Sondeerpads, PCM's (Process Control Monitor), PEM's (Process Evaluation Monitor);
- Meetsystemen & SMU's (Source-Measure-Unit);
- Weerstandsmetingen;
- Evaluatie en karakterisering van de weerstand van een enkele laag;
- Teststructuren voor isolatie tussen en binnen lagen;
- Karakterisering van de contactweerstand.
Afsluitende sessie (1 x 3 uur):
- Actuele ontwikkelingen op het gebied van apparaatfysica, halfgeleiderelementen en procestechnologie;
- Huiswerk, certificaten en evaluatie.
Methoden
Certificering
Deelnemers ontvangen een cursuscertificaat van het High Tech Institute als de huiswerkresultaten voldoende zijn.
Cursusbeoordelingen
