Hoorcolleges en oefeningen. Cursusmateriaal: notities.
De cursus wordt in het Engels verzorgd onder de titel "Micro-Electro-Mechanical Systems".
Dit is een inleidende training van drie dagen over micro-elektromechanische systemen (MEMS): theorie in de basis en hoe MEMS worden ontworpen en gefabriceerd, verschillende toepassingen van MEMS in sensoren en actuatoren, en gebruikskwesties van MEMS.
De cursus wordt in het Engels verzorgd onder de titel "Exploring Rust".
Deze training onderscheidt zich door:
- De professionele oriƫntatie en een programma verbonden met de industrie;
- Zijn uitgebreide end-to-end leertraject;
- Prof. Michael Kraft die al meer dan 20 jaar internationale ervaring in geavanceerd MEMS-onderzoek en cleanroomtechnologieƫn combineert met een diepgaand interdisciplinair begrip en een passie voor het toepassen van micro- en nanosystemen op echte uitdagingen.
Deze training voor open inschrijvingen biedt een solide basis in MEMS-technologie. Voor ervaren engineers die dieper willen ingaan op traagheidssensoren, piƫzo-elektrische en resonantieapparaten bieden we een aanpasbare MEMS-training voor gevorderden.
Leerdoelen
Na het volgen van de training weet de deelnemer het volgende:
- De basistheorie van micro-elektromechanische systemen (MEMS),
- Hoe MEMS worden ontworpen en gefabriceerd,
- Verschillende toepassingen van MEMS in sensoren en actuatoren,
- Hoe MEMS kunnen worden gebruikt.
Doelgroep
Deze cursus is bedoeld voor ontwerpingenieurs op het gebied van elektronica en werktuigbouwkunde/mechatronica (op het niveau van het technisch onderwijs of de universiteit) die werkzaam zijn in onderzoek en productontwikkeling.
Veronderstelde voorkennis: elementaire kennis van IC-technologie/processing.
Voor groepen deelnemers die hun kennis verder willen verdiepen dan MEMS-fundamentals en zich willen richten op specifieke sensordomeinen, is er een Advanced MEMS-training alleen beschikbaar voor in-company sessies.
Programma
Inleiding tot micro-elektromechanische systemen
- MST - MEMS - micromachines
- MEMS, algemene aspecten en motivatie: miniaturisatie, draagbaarheid, markten
Micromechanische verwerkingstechnieken
- Microtechnologie in bulk
- Oppervlakte micromachining
- Droog etsen
- Diep reactief ionetsen
- Waferverbindingstechnieken, Silicium op Isolator
- Verbinding
Sensoren en actuatoren
- Transductiemethoden (capacitief, piƫzoresisterend, piƫzo-elektrisch)
- Druksensoren
- Versnellingsmeters, gyroscopen
- Actuators
- Akoestische MEMS
- Op resonantie gebaseerde sensoren
- Optische MEMS en toepassingen
- Gas sensoren, chemische en bio sensoren
Methodiek
Certificering
Deelnemers ontvangen een cursuscertificaat van het High Tech Institute voor het volgen van deze opleiding. Bovendien maakt deze opleiding deel uit van het programma voor beroepsopleiding van de Nederlandse Vereniging voor Precisietechniek (DSPE), die hiervoor microcredentials verstrekt.
Meer informatie
Cursusbeoordelingen
